比现在主流的光刻机性能还要差上那么一点。但最小na数值孔径也做到了136。

根据反馈来看，只需要稍作调整，就能完成极限制程3n的制作工艺。

虽然比阿斯麦最新款的两纳米极限工艺还要差了一点，但基本上可以说跟上了主流，跟国际顶尖水平的差距也已经缩小到可以容忍的地步。

而且真要对比的话，光刻工厂的生产效率可要远高于单台光刻机，搭配智能化的操作系统，最多能同时批量光刻十三种规格不同的芯片。理论上可以达到每小时2737片的生产效率。

当然光刻工厂占地也远比光刻机要庞大。

总之就是各有千秋。

当然，现在依然处于试机过程中。

暂时还不会正式交付开始进行生产。

而且光刻工厂建设周期较长，但对于现在的华夏来说，这些缺点都可以被无视。

因为光刻工厂的所有零配件实现了全国产，完全不怕被卡脖子。

可想而知此时的张志坚有多兴奋，真的，此时在乔泽面前的张志坚看上去像是个兴奋过度的小孩子。请牢记收藏,网址 最新最快无防盗免费找书加书可加qq群952868558